朝日工業社の精密空調機、ラピダスが半導体製造工程用環境装置として採用
2025年01月06日13時21分 / 提供：マイナビニュース
朝日工業社は、半導体やFPD工場の製造工程向け空調設備である精密空調機「ASCシリーズ」の上位モデルとして、温湿度制御を向上した「高性能温湿調機」を発表した。
同空調機は従来機種の温度制御性能±0.5℃から、±0.05℃、湿度制御±0.5％RHの制御へと性能を向上させたモデルとなる。
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2025年01月06日13時21分 / 提供：マイナビニュース
朝日工業社は、半導体やFPD工場の製造工程向け空調設備である精密空調機「ASCシリーズ」の上位モデルとして、温湿度制御を向上した「高性能温湿調機」を発表した。
同空調機は従来機種の温度制御性能±0.5℃から、±0.05℃、湿度制御±0.5％RHの制御へと性能を向上させたモデルとなる。
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