昭和電工マテリアルズ、CMPスラリの生産能力増強に200億円を投資

昭和電工マテリアルズ(旧日立化成)は、半導体製造で用いられる「CMPスラリ」の生産能力と評価機能を増強することを目的に総額200億円投資して、山崎事業所および同事業所の勝田サイト、台湾の連結子会社Showa Denko Semiconductor Materials Taiwan(SDSMT)における工場の新設や生産・評価設備の導入を行うことを発表した。

半導体用CMPスラリ市場は、半導体需要の高まりを背景にに2019年以降、年率10％を超える成長を遂げており、今後も半導体メモリの3次元化や、ロジック半導体の高性能化に向けたトランジスタ構造の複雑化などによる研磨層数の増加などから、さらなる成長が期待されている。